记者 周应梅  中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“中微公司”，股票代码：688012.SH）这几年的业绩持续向好，连续盈利4年，今年上半年营收保持增长近五成。用了近20年时间，中微公司成长为刻蚀机龙头。

告别亏损后，中微公司不断有新收获，比如在等离子刻蚀机技术进一步突破，目前中微公司CCP电容性高能等离子体刻蚀设备，已经应用于台积电5nm生产线，同时其5nm以下的器件试生产取得了进展。

中微公司主要产品等离子刻蚀机主要应用在晶圆制造前道工艺，与光刻机一样是集成电路晶圆工艺制造环节不可缺少的设备。在国内，中微公司在刻蚀机领域难找对手，同时在国际市场上展露头角。

“板凳要做十年冷，核心技术的突破攻关需要静下心、沉住气。”半导体投研专家吴全对记者表示，中微获得的突破给国内半导体公司做了一个示范。

这几年收获满满的背后，中微公司已蛰伏18年。

尹志尧60岁创业

2004年，60岁的尹志尧，离开全球排名前三的半导体设备公司应用材料，带领15人团队回国，创立了中微公司。

中微公司的多位联合创始人，也多是国际半导体设备产业的资深技术和专家。在应用材料任职的十多年里，尹志尧历任等离子体刻蚀设备产品总部首席技术官、总公司副总裁及等离子体刻蚀事业群总经理、亚洲总部首席技术官。

中微公司董事长兼总经理尹志尧生于1944年，现年78岁。尹志尧本科毕业于中科大物理系，之后获加州大学洛杉矶分校物理化学博士学位。1984年至2004年，尹志尧先后在英特尔、泛林半导体、应用材料多家公司任职。到目前尹志尧在半导体领域有近40年的经验。

相比芯片生产商，半导体设备公司较少被外界关注。

尹志尧公开表示过，半导体设备产业有明显的缺点，一个是规模小，几百亿美元的规模不到整个芯片产业的十分之一；另外，半导体设备是B2B模式，大多数人不了解设备公司做什么。

但是没有光刻机、刻蚀机、薄膜沉积等设备则无法造出芯片。尹志尧此前接受采访时说，芯片制造细分设备达170多种，而每个具体设备在国际上只有两三家能够做，是一个高度垄断的行业。这也是被“卡脖子”的主要原因。

国盛证券研报显示，国际第三方数据机构 Gartner统计，全球刻蚀企业排名前三的分别是 Lam Research（泛林半导体）、TEL（东京电子）、AMAT（应用材料），全球市占率合计 91%。国内刻蚀业务前三大企业分别为中微公司、北方华创、屹唐半导体。

吴全告诉记者，半导体设备相较于芯片制造、产品应用市场规模偏小，它是一个倒金字塔效应，从设备到制造、产品，它有一个放大效应。“俗话说没有金刚钻不揽瓷器活，只有把相应的设备搞定，才能扩大生产制造的规模。”

中微公司这样的半导体设备公司也十分受国家重视，中微公司此前就获得了大基金一期投资，2020年再获大基金二期融资近25亿元。

中微公司最新财报披露国有法人持股达34.76%，第一大股东和第二大股东均为国有法人。中微公司高管和核心技术人员也持有限售条件股份。

尹志尧曾公开表示过，全员期权激励是中微吸引人才、留住人才的一大秘诀。中微公司采取全员激励的方式，连续多年发布限制性股票激励计划。中微公司2021年年报披露，截至2021年底，中微公司员工持股人数644人（包含离职员工持股），员工持股人数占公司员工总数的61%，员工持股数量占总股本的16.4%。中微公司披露，2022年上半年报告期内人均年化营业收入达350万元。

截至上半年末，董事长兼CEO尹志尧目前持股620万股，占公司已发行股本的1%。尹志尧方有陆续减持，中微公司方面称是因他个人资金需要。目前中微公司给尹志尧的年薪为669.68万元。

如何成为刻蚀机龙头

事实上，中微公司到2018年才实现盈利，在此之前是亏损状态。

研发投入是中微公司投入的大头。今年上半年中微公司研发投入占总营收比重的17.56%。此前比例更高一些，去年全年的研发投入占总营收比重为23%，2020年研发投入占总收入比重28%。截至2022年上半年中微公司研发人员数量为496个，相比上年同期有所增加，占公司总人数比重为41%。其中博士82人，硕士150人，本科210人，研发人员年龄范围30-40岁居多。

当然这样的投入也是值得的，2016年到2021年，6年时间里中微公司的营收增长近五倍，已经连续4年实现盈利。

中微公司的收入主要来自两大业务，刻蚀设备和MOCVD 设备。今年上半年，中微公司2022年上半年营收19.72亿元，同比增长47.3%，毛利率46%。其中，来自刻蚀设备的总收入占到总营收比重的65.87%。

摩尔精英副总裁赖琳晖告诉记者，这几年芯片行业投入建厂较多，IC设备公司业绩向好，但是后续的增长速度不会这么高了。

2016年至2021年，中微公司分别收入6.10亿元、9.72亿元、16.39亿元、19.47亿元、22.73 亿元、31.08亿元。2018年之前中微公司年营收复合增长率在60%左右，近三年来增长速度有所放缓。

此前中微公司盈利有部分是政府补贴，不过对政府补贴依赖的情况有改变。2022年上半年，中微公司政府补贴减少2亿元，同时持有中芯国际和天岳先进股价在上半年下跌带来非经常性损益减少。在这样的情况下，中微公司上半年净利润保持在4.68亿元，相比去年同期增长17.94%。上半年其扣非净利润同比增长6倍。

国内也有多家做刻蚀设备的公司，像北方华创等公司大多以ICP电感性低能等离子体刻蚀设备为主。而中微公司主要的产品CCP电容性高能等离子体刻蚀设备。CCP是介质刻蚀所需要设备，CIP是金属及硅刻蚀所需设备。

中微公司半年报提及，公司的CCP 电容性高能等离子体刻蚀设备，在一些主要客户的生产线上已达30%甚至更高的市场占有率。应用于台积电5nm晶圆生产线的就是中微公司CCP产品。

市面上ICP占据市场份额更大一些，中微公司也从CCP拓展到ICP。三年前中微公司ICP产品正式进入市场，目前年销售额保持100%的增速。中微公司CCP 刻蚀设备上半年收入8.86亿元，同比增长13.98%；ICP 刻蚀设备上半年收入4.13亿元，同比增长414.08%。

ICP目前是中微公司增长最快的产品线。

中微公司刻蚀产品线在持续拓展。中微公司目前正在开发用于逻辑器件大马士革刻蚀及用于极高深宽比应用的刻蚀机。财报提及，进展较好，将陆续进入市场。

未来持续扩产能

MOCVD设备领域，中微公司搭上了Mini LED新风口。

中微公司MOCVD设备在2020年收入较上年同比下滑34%，去年重获增长。去年6月，中微公司新发布了用于高性能 Mini LED 量产的 MOCVD 设备Prismo UniMax。今年上半年中微公司MOCVD 设备收入为2.41亿元，占总收入比重的12.22%，较去年同期增长9.90%。报告期MOCVD 设备内毛利率达到35.42%，相比去年同期有所增长。

吴全表示，LED市场越来越是中国公司的天下，代表企业有京东方、华星等，国内的这些厂家跟国外厂商竞争，主要是跟韩国厂商来竞争，也越来越具有优势，LED国产化这两年也在加快。中微公司想要拿下LED市场的MOCVD 设备不难理解。

赖琳晖认为，中微在CVD设备上有一定的竞争力，在IC设备自主可控的大背景下，前景可观。

尹志尧在财报致辞中提及，经过十多年的努力，公司制造氮化镓基LED的关键设备 MOCVD 设备，已成为国内和国际第一，占绝对领先地位。

除了刻蚀设备和MOCVD 设备外，中微公司同时在开发集成电路前端所需要的低压化学气相沉积设备（LPCVD）和生长硅及锗硅极关键的外延设备（EPI）。财报提及，已取得了可喜的进展。

目前中微公司还有三个重大项目在建，在南昌的约14 万平方米的生产和研发基地已部分完工，部分生产洁净室于2022年7月投入试生产；在上海临港的约18万平方米的生产和研发基地建设已大部分封顶，明年年初就可以部分投入使用；上海临港滴水湖畔约10万平方米的研发中心暨总部大楼也在顺利建设。

尹志尧财报致辞提到，未来两年时间，公司会有比现在十五倍大的厂房陆续建成，为的是确保公司今后10年到15年的发展。

中微公司目前投入项目的钱，来自上市募集资金和2020年曾发募集资金。2019年中微公司在科创板上市募集资金15.51亿元。2020年中微公司再获融资发行，大基金、工银瑞信基金、GIC Private Limited、国泰君安、中金公司等投资，募集资金82亿元。其中国家大基金二期此次认购额近25亿元，交易完成后持股3.97%。

尹志尧在财报致辞中提及，由于光刻机的波长限制以及存储器件从二维到三维的演变，等离子体体刻蚀机已成为集成电路前端设备销售增长最快的设备，全球超过了相当于1400亿人民币的市场，我国市场规模约350亿人民币。

“中国是全球第一大半导体需求市场，未来国内还会建很多半导体生产线，需要大量的半导体设备和工具，对国内和全球半导体公司来说，未来有很好的机会。对于国际厂家来说，要供应中国半导体市场，不受地缘政治干扰是前提。”吴全告诉记者。

吴全认为，有国际巨头的存在，竞争门槛依然比较高，但是国内企业暂时不应该把泛林半导体、应用材料、东京电子这些企业当对手，更应该当做榜样去学习。学习别人的技术积累和发展模式、路径。